电子重生-第170部分

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胶片上形成影像。这个影像不就是比实物要小的多的多了吗？

　　　　同样，光刻机在单晶硅圆片上留下来的线条，可也不是一笔一笔刻上去的。而是通过对光学掩膜版进行曝光，然后让这些设计好的逻辑电路影像通过一组组镜头。最终得到比掩膜版要小得多的图像。这样对光敏感的光刻胶，就会被有选择的光照所去除。这些没有光刻胶覆盖的晶圆部分。就会在接下来的工艺中成为晶体管的结构基础。

　　　　不断的追求镜片加工极限，就是光刻机提高工艺水平的主流选择。这也是为什么全世界只有三家光刻机生产商。而最为著名的就是日本尼康和荷兰阿斯麦（as。ml）。尼康本身就是日本战前做潜艇潜望镜的厂家，后来则是相机业的霸主。而阿斯麦的镜头则来自于卡尔蔡司，这家公司干嘛的就不用说了，地球人都知道。光刻机离开了这两家光学企业，什么摩尔定律都得去见鬼。

　　　　当然，这并不是说就没有其他办法来提高工艺条件了。除了镜头，实际上使用何种光源也会导致线宽的不同。不同波长的光波，就如不同规格的刻刀。波长越短的光波，就能够在光刻胶上留下越细的痕迹。最早的光刻机因为加工精度不高。使用的汞灯只能提供365nm的i线光。后来更换了准分子激光之后，光波才降低到了193nm的激光。

　　　　未来想要缩小刻蚀的分辨率，甚至还要继续上14nm的极紫外光。至于10纳米以下，可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。

　　　　当然这些只是不准确的科普说法，如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系，或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的

　　　　本书的长度恐怕会有些不足，以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理（其实作者也不懂）就不多说了。

　　　　言归正传，涂岸北脑海中灵光一现，正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次，就相当于换了一个更细的刻刀。

　　　　而水的折射率是1。44，当0。8微米波长的光线穿过水之后，0。8除以1。44岂不正是0。56微米？如果这项技术真的有可行性。那确实是可以在不提高精密制造水平的前提下，得到更高一代的芯片制程技术。

　　　　这么简单的原理，周硕当然不是第一个想到的。用水缩短光源的波长来提高制程工艺。是未来光刻机普遍采用的技术。也就是学名叫做沉浸式光刻机的设备。通过不断努力，未来的光刻机早就已经实现了这项技术。不仅是折射率1。44的水。更开发出折射率更高的液体。沉浸液成为镜片和光源之外，第三个能够快速减小线宽的因素。

　　　　“怎么样。大家现在还有什么疑问没有？”

　　　　在场的十四个研发人员都是周硕一手挑出来的大才，谁的心思不是一点就透。有几个甚至就是中科院里，参加了0。8微米全套工艺开发的研究员。他只是透出一点话头，这群人的眼睛立刻就亮了起来。

　　　　使用水作为沉浸液还面临着很多的问题，比如说光刻胶的溶解、水中的杂质和稳定性，蒸发扰动以及水中气体的去除

　　　　但这些问题和提高精密制造水平，根本不可同日而语。精密制造那是拼基础积累的领域，但拼化学和系统设计，中国人可是太有信心了。

　　　　传承自苏联的中国科学家，在系统设计方面可是深谙如何用巧妙方法克服困难要求的。至于某些方面技不如人的自卑，那就完全没有必要了。这种处境既可以叫穷国的无奈，也可以叫发展中国家的后发优势，全看人们从什么角度解读了。

　　　　以中国未来取得的成就来看，大可自豪的说是属于后一种角度。

　　　　“唔，我看这个路线说不定可以。”涂岸北缓缓的点了点头，笑道“周校长这个办法确实是奇思妙想，我看有尝试一下的必要。”

　　　　“我也觉得能成。”他身边之前质问周硕的中年男人，也不自觉的点头道“如果光刻胶的防溶解配方一时拿不出来，我看可以增加一组镜头把水和晶圆隔离开。”

　　　　“水中的气体可以通过真空法去除，这样我们就只需要考虑蒸发造成的扰动了”

　　　　这十四个研究狂人，在周硕指出了路线之后，很快就一个个都找到了自己专业的切入点。丝毫不在意之前自己还对这个计划表示反对，和实打实的科技成果比起来，面子值几个钱？国家投入十几个亿，花费了三年时间才把工艺从1。2微米推进到0。8微米。如果被自己从0。8微米再推进到0。5微米，恐怕当前实验室里又要多几个能领国。务。院津贴的了吧！

　　　　周硕笑着点头道“大家不要着急，我已经为你们每个人的研究内容，专门写了个计划书。接下来一个月，我们只要能够按部就班的完成计划书里的研究任务，肯定就能准时的拿出0。5微米工艺生产线。”

　　　　涂岸北看着周硕从一旁推出来的文件车，窘迫的笑着摇了摇头说道“之前真不应该怀疑周校长，你可从来都是谋定而后动啊！有这种东西也不早拿出来，不然哪来这么多麻烦？”

　　　　周硕拱了拱手，笑嘻嘻的说道“怪我、怪我，涂老你千万大人有大量！”

　　　　这也是周硕一直以来在研究管理上的心得，直接上来就拿出试验计划，下面人难免会觉得反正是老板的项目，做起来多少会有些懈怠没有动力。但如果事先通过启发的方式，让下面人了解了自己的思路和意图，那么他们就会把这个实验当做是自己验证知识的过程。可别小看这似乎多此一举的行为，周硕又不是全知全能的神。给出的试验计划里难免有疏漏和谬误的地方，研究员的积极性和主观能动性这时可就是实验成败的关键了。

　　　　众人从周硕推出来的文件车上，取了自己负责方向的计划书。在超净室里面，即使是纸质文件也不能裸露出来的，每一份文件的每一页，都是用透明塑料进行了严格的密封。这让他们拿到手里之后，计划书显得颇有分量。

　　　　涂岸北翻了几页实验计划书，感叹的向周硕问道“既然有这样的技术，我们何必去买日本人的设备？改造一批国产的0。8微米工艺生产线，我们立刻就能追上国际主流水平了。”

　　　　周硕微微摇了摇头，遗憾的说道“这就是我把它命名为杜鹃计划的原因，沉浸式光刻机在目前的技术上并不成熟。又不是呆着没事我才把实验室设在地下的，建造成本就多出来不知道多少倍造价。但地下实验室也有很多好处，比如说温度恒定、精密设备受到的干扰少等等。要知道沉浸式光刻机的关键在水，而水一旦受到一丝晃动，放大到芯片上都是不能接受的。”

　　　　“我们的0。5微米工艺，除了光源以外仍然是0。8微米的底子，这势必就会造成生产困难和良品率极低。只有让日本人相信我们已经掌握了0。5微米工艺，为了扼杀我们的研究成果，打开向国内供应0。5微米生产线的口子。接下来得到他们的0。5微米线，才能补全这条线的工艺基础。”

　　　　他斩钉截铁的说道“只要能够真正和美、日站在同一个起跑线上，我不信中国人就一定会在这场比赛中仍然落败。”（未完待续。。）

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第二百六十五章　一茬又一茬



　　　　吴浩站在科委的大门前，焦急的四下张望着。随着九月末的临近，眼看着九五规划就要在十四届五中全会上面提交审议。科委这边的工作强度也骤然增加了起来。尤其是他这办公室主任的位置屁股还没有做热，更是搏前程、图表现的时候。

　　　　但这样紧迫的时间里，他仍然在百忙之中抽出了空闲，专门出来迎接周硕的到来。这当然不是说周硕的面子大，而是这次摊上的事情未免大了一点。

　　　　大切诺基从街角开出来，平稳的停在科委门前的停车场里。周硕从车上跳下来，很容易就看到已经被秋日晒的满头大汗的吴浩。

　　　　“哟，老吴你怎么站在这里呢。”周硕赶紧小跑了两步，把他拉近了阴凉的室内。

　　　　“哎，还不是要赶着拦住你？”吴浩擦了一把头上的汗，叹口气说道“这次你可摊上大事儿了，我要是不嘱咐一句，心里没底啊！”

　　　　他拉着周硕的手，语重心长的说道“听我一句劝，一会儿千万别硬顶。一个研究员而已，给赵院长退回去，少了张屠户还要吃带毛猪？”

　　　　周硕呵呵干笑了两声，摇头道“老吴，这不是一个研究员的事情。今天他赵院长能找到科委大领导头上，来要回自己一个研究员。明天就要有更多的人找过来，从我泛翰研究所里把他们的人捞回去。人，我既然抓到自己手里了，说什么都不会再松开的。”

　　　　“哎呀，你怎么这么死脑筋？”吴浩气的直跺脚。辩解道“那赵老头是好惹的吗？中科院光电所的大老板！就是我们科委的大领导和他说话也要客客气气的。你要不是挖走了他的手下大将，人家连正眼也不会看你一眼！”

　　　　“不是我死脑筋。而是他们光电所死脑筋啊！”周硕也忍不住大倒苦水“麻友公既然是他光电所的得力干将，就给人家定一个助理研究员的等级。一个月拿不到八百块的死工资？人家老婆下岗、孩子待业、上有老下有小，搞的一个月连一次肉都舍不得吃，这就是对待人才的态度？”

　　　　周硕也是越说火气越大，指天说道“今天这是我把麻友公挽留下来，他赵院长才能到中央去告我的状。可你知不知道同时还有一家日本公司，正在和他接触？我要是下手再晚点，人家说不准就已经坐上去日本的飞机了！难道到时候他赵院长还能去外交部抗议不成？”

　　　　“我的周大校长！”吴浩急道“人在屋檐下，谁能不低头？你泛翰集团毕竟是中国公司，这又有什么办法？”

　　　　吴浩也知道这不合理。哪有自己国家的人才被外国公司挖走没事儿，本国公司反而不能挖的道理？但时下就是这么个环境，别说是日本公司了，不管是弯弯也好，港商也罢哪个不是在享受着超国民待遇？也不光是人才上，外国投资商来中国投资就是三面五减半，低价拿地，vip政府服务。轮到本土商人，不说得照章纳税。工商消防卫生一天查你八遍！

　　　　“好了，老吴。”周硕一摆手，制止了吴浩的劝解，冷静的说道“你说的我都懂。但我不能按照你要求的那么做。如果我真的把麻友公放手，就是对中国科研事业在犯罪！”

　　　　吴浩看着周硕失望的摇了摇头，叹口气说道“好吧、好吧。算我多管闲事。你周校长什么都好，就是一涉及到这些科研问题的时候。个顶个的较真。”

　　　　周硕拍着他的肩膀，认真的说道“老吴。我知道你的一片苦心。这份情我记住了，以后一定还！”

　　　　“咱哥们，还说什么你你我我的？”吴浩落寞的摇了摇头，指向办公楼里面说的“好了，别让大领导久等了，你快去吧。”

　　　　“成，那等我出来了，咱们再聚聚。”周硕挥了挥手，向楼上走去。

　　　　科委大领导的秘书在三楼的楼道口显然已经等了一会儿，见到周硕姗姗来迟也没有多说什么。只是点了点头，默默的在前面带路。

　　　　科委大领导办公室所在的三楼，显然今天的气压很低。明明不断的有人在走廊里经过，但却极少会发出什么声音。间或有一两间办公室开着门，屋里说话的人也都是趴着别人的耳朵，把音量控制在两个人的范围内。

　　　　还是前些日子的那扇门，堂堂的科委大领导，办公室大门却有些斑驳掉漆。铁质的门把手在长年累月的摩擦下，表面甚至有了一层类似釉质的包浆。

　　　　秘书先是在门上轻轻敲了两下，在里面响起一声“请进”之后，这才推开了大门。周硕跟在他的身后向里面走去，第一眼就看到了一个头发半白的老人，眼睛好像金鱼似的气鼓鼓的瞪着自己。

　　　　秘书将周硕带进来，通报了一下之后就被大领导赶了出去。不等大领导有所表示，老头就站起来向周硕走了过来。

　　　　他围着周硕转了两圈，上下打量着他问道“你就是那个什么泛翰集团的领导？”

　　　　周硕笑着点了点头，对这老人的身份心知肚明，应道“赵院长吧？我就是泛翰集团的董事长周硕。”

　　　　“你发明石墨烯制法的论文，我读过。”赵院长似乎满意的点了点头，说道“思路很好，应该是个搞科研的好料子。”

　　　　周硕见他嘴里虽然说着恭维的话，神情却根本不带一点笑意，也不敢太过于随便了。这老人看起来起码六十开外，显然当学霸有年头了。只在那里一站，指点江山的气势就扑面而来。

　　　　“赵院长过奖了，我只是愚人千虑偶有一得而已。”

　　　　“哼，还算你有自知之明。”赵院长冷哼一声坐回旁边的沙发上，不客气的说道“既然你也知道在科学技术上，能做出点成绩是偶有一得，也应该知道培养一个优秀的科学家是多么困难的事情。麻友公从26岁到我光电所，18年时间里才培养起这么一个能接班的人。你一声不响的，说把人抢走就抢走了？”

　　　　周硕抿了抿嘴唇，不卑不亢的说道“麻友公先生是自愿到我泛翰研究所工作的，我们并没有逼迫他做出这个决定。”

　　　　“要不是你们引诱他，他会放下呆了18年的光电所吗！”赵院长不忿的怒吼道“你们这些资本家打的什么主意我还不知道？他对你们来说就是个工具，有用就用没用就扔。你们有指导他项目的能力，还是有培养他学术地位的能力？用不了三五年，等他的知识体系落后了，还不是要泯然众人矣？”

　　　　周硕张了张嘴，沉默了下来。老头说的未尝不是实情，九十年代我们国家多少科学界的未来之星，都是倒在了外国公司这样的手段之下。

　　　　中国的人力成本很低，对于外企来说哪怕是把人民币工资等数换成美元，也仍然是低的让人发指。但中国的技术人员在做研究和开